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"中 노광장비 개발사 SMEE, ASML 독점 깰 특허 출원": SCMP "美제재 SMEE 작년 3월 극자외선 노광장비 특허"; 2024.09.13 14:25 입력

윤고은 기자 pretty@yna.co.kr

<div class="tit-sub" style='margin: 0px 0px 51px; padding: 0px 0px 0px 14px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: inherit; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.16px; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; display: block; white-space: normal; position: relative; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;'><h2 class="tit" style="margin: 0px; padding: 0px; line-height: 1.1; letter-spacing: -0.01em; font-family: inherit; font-size: 17px; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-stretch: inherit;">SCMP "美제재 SMEE 작년 3월 극자외선 노광장비 특허"</h2></div><div class="comp-box photo-group" style='margin: 0px auto; padding: 0px 0px 50px; width: 648px; height: 436px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: inherit; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.16px; clear: both; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; display: block; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;'><figure class="image-zone" style="margin: 0px; padding: 0px; line-height: inherit; letter-spacing: -0.01em; font-family: inherit; font-size: inherit; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: 400; display: block; position: relative; font-stretch: inherit;" data-stat-code="mapping_photo" data-mapping-filename="PRU20240829252101009_P2.jpg"><div class="img-con" style="margin: 0px; padding: 0px; width: 648px; text-align: center; line-height: inherit; letter-spacing: -0.01em; font-family: inherit; font-size: inherit; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: 400; display: block; position: relative; font-stretch: inherit;"><span class="img" style="margin: 0px; padding: 0px; line-height: inherit; letter-spacing: -0.01em; overflow: hidden; font-family: inherit; font-size: inherit; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: 400; vertical-align: top; display: inline-block; font-stretch: inherit;"><img style="border: 0px currentColor; border-image: none; letter-spacing: -0.01em; font-weight: 400; vertical-align: top; display: inline-block; max-height: 500px; max-width: 648px;" alt="[로이터 연합뉴스 자료사진]" src="https://img3.yna.co.kr/photo/reuters/2024/08/29/PRU20240829252101009_P4.jpg"></div><figcaption class="desc-con" style="margin: 14px 0px 0px; padding: 0px; line-height: 22px; letter-spacing: -0.01em; font-family: inherit; font-size: 14px; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: 400; display: block; position: relative; font-stretch: inherit;"><p class="txt-desc" style="margin: 0px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); line-height: inherit; letter-spacing: -0.5px; font-family: inherit; font-size: inherit; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: 300; font-stretch: inherit;">[로이터 연합뉴스 자료사진]</figcaption></figure></div><p style='margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;'>(서울=연합뉴스) 윤고은 기자 = 중국 유일 노광(Lithography·석판인쇄)장비 개발사인 국영 상하이마이크로일렉트로닉스(SMEE)가 네덜란드 ASML의 독점을 깰 특허를 출원했다고 홍콩 사우스차이나모닝포스트(SCMP)가 13일 보도했다.<p style='margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;'>SCMP는 중국 기업정보 사이트 치차차를 인용, SMEE가 지난해 3월 출원한 '극자외선(EUV) 방사선 발생기 및 리소그래피 장비' 특허가 지난 10일 공개됐으며 여전히 중국국가지식재산권국이 심사를 진행 중이라고 전했다.<p style='margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;'>이어 "해당 특허는 SMEE가 중국 반도체 산업 아킬레스건으로 여겨지는 EUV 리소그래피를 어떻게 발전시키고 있는지를 보여준다"며 "수년간의 노력에도 SMEE는 28나노(㎚, 10억분의 1m) 이하 공정에 사용할 수 있는 노광장비의 안정적인 양산에서 ASML에 뒤처져 있다"고 설명했다.<p style='margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;'>노광장비는 반도체 기판(실리콘 웨이퍼)에 고도로 복잡한 회로 패턴을 새겨넣는 기술이다.<p style='margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;'>현재 세계 극자외선 노광장비 시장을 거의 독점하고 있는 ASML은 지난 2019년부터는 대(對)중국 수출에 제한을 받고 있다. 특히 7나노 이하 반도체 생산에 필요한 최첨단 노광장비는 ASML만이 생산한다.<p style='margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;'>중국 노광장비 시장 역시 99%가 ASML과 일본의 니콘과 캐논이 장악하고 있다.<p style='margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;'>이런 상황에서 SMEE는 2022년 12월 미국 정부 블랙리스트에 올라 특정 미국 기술에 대한 접근이 막혔다.<p style='margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;'>SCMP는 "새롭게 드러난 SMEE의 노광장비 특허 출원은 미국 제재에도 중국 기업들이 자국 첨단 노광장비 시장에서 어떻게 발전할 수 있는지를 보여준다"며 "중국에서 극자외선 노광장비를 생산하는 것은 ASML의 독점을 깨는 것"이라고 짚었다.<p style='margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;'>미국이 중국 반도체 굴기를 저지하고자 각종 수출 규제를 단행하면서 중국 반도체 산업은 직격탄을 맞았        | 저작권자 ⓒ  연합뉴스(<a href="http://www.yonhapnews.co.kr">http://www.yonhapnews.co.kr</a>) | 무단전재 및 재배포금지 |

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