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중국, 美 제재에 입자가속기 활용한 반도체 노광장비 공장 추진: 홍콩 매체 "칭화대 연구진, 슝안지구에 거대한 공장 건설 계획"; 2023.09.25 17:28 입력

윤고은 특파원 pretty@yna.co.kr

<div class="tit-sub" style="margin: 0px 0px 51px; padding: 0px 0px 0px 14px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: inherit; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.16px; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; display: block; white-space: normal; position: relative; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;"><h2 class="tit" style="margin: 0px; padding: 0px; line-height: 1.1; letter-spacing: -0.01em; font-family: inherit; font-size: 17px; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: 500; font-stretch: inherit;">홍콩 매체 "칭화대 연구진, 슝안지구에 거대한 공장 건설 계획"</h2></div><div class="comp-box photo-group" style="margin: 0px auto; padding: 0px 0px 50px; width: 648px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: inherit; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.16px; clear: both; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 16px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; display: block; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;"><figure class="image-zone" style="margin: 0px; padding: 0px; line-height: inherit; letter-spacing: -0.01em; font-family: inherit; font-size: inherit; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: 400; display: block; position: relative; font-stretch: inherit;" data-stat-code="mapping_photo" data-mapping-filename="PRU20230907017201009_P2.jpg"><div class="img-con" style="margin: 0px; padding: 0px; width: 648px; text-align: center; line-height: inherit; letter-spacing: -0.01em; font-family: inherit; font-size: inherit; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: 400; display: block; position: relative; font-stretch: inherit;"><span class="img" style="margin: 0px; padding: 0px; line-height: inherit; letter-spacing: -0.01em; overflow: hidden; font-family: inherit; font-size: inherit; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: 400; vertical-align: top; display: inline-block; font-stretch: inherit;"><img style="border: 0px currentColor; border-image: none; letter-spacing: -0.01em; font-weight: 400; vertical-align: top; display: inline-block; max-height: 500px; max-width: 648px;" alt="[로이터 연합뉴스 자료사진]" src="https://img7.yna.co.kr/photo/reuters/2023/09/07/PRU20230907017201009_P4.jpg"></div><figcaption class="desc-con" style="margin: 14px 0px 0px; padding: 0px; line-height: 22px; letter-spacing: -0.01em; font-family: inherit; font-size: 14px; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: 400; display: block; position: relative; font-stretch: inherit;"><p class="txt-desc" style="margin: 0px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); line-height: inherit; letter-spacing: -0.5px; font-family: inherit; font-size: inherit; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-weight: 300; font-stretch: inherit;">[로이터 연합뉴스 자료사진]</figcaption></figure></div><p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">(홍콩=연합뉴스) 윤고은 특파원 = 미국의 반도체 수출 통제가 오히려 중국의 기술 자립을 가속화하고 있다는 지적이 제기되는 가운데 중국 연구진이 첨단반도체용 노광 기술을 개발해 관련 공장을 추진하고 있다는 보도가 나왔다.<p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">홍콩 사우스차이나모닝포스트(SCMP)는 25일 중국이 미국 주도 반도체 노광장비 수출 통제를 피할 방법을 물색하는 과정에서 칭화대 연구진이 입자 가속기를 활용해 새로운 광원을 만들어내는 SSMB(Steady-State MicroBunching) 프로젝트를 진행해 성과를 거뒀다고 보도했다.<p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">이어 해당 기술을 바탕으로 중국 슝안신구에 거대한 반도체 노광장비 공장 건설이 추진된다고 덧붙였다.<p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">신문은 네덜란드 ASML의 극자외선(EUV) 노광장비는 수출을 위해 크기를 되도록 줄여야 하는 반면, 중국은 여러 대의 노광장비가 둘레 100∼150ｍ에 달하는 거대한 입자가속기 한 대를 에워싸는 방식의 대규모 공장을 세울 계획을 마련했다고 전했다.<p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">EUV 노광장비는 7㎚(나노미터=10억분의 1ｍ) 이하 초미세 반도체 공정 구현에 필수적인 장비로 세계에서 ASML만 독점 생산한다.<p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">반도체 공정 중 웨이퍼(반도체 원판) 위에 회로 패턴을 새기는 노광 작업에 극자외선 파장을 가진 광원을 활용하는 장비다. 최신형 5세대 이동통신(5G) 스마트폰 등에 들어갈 반도체를 생산하는 데 필수적이다.<p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">블룸버그 통신에 따르면 지난해 말까지 ASML은 180대의 EUV 노광장비를 인도했고 올해 60대를 선적할 계획이다.<p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">그러나 네덜란드는 2019년부터 ASML의 최첨단 EUV 노광장비의 중국 수출을 금지했다.<p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">이런 상황에서 칭화대 연구진이 입자가속기를 활용해 EUV 노광장비보다 저비용으로 몇배 높은 출력을 가진 새로운 광원을 만들어냈다는 것이 SCMP 보도 내용이다.<p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">슝안지구에 들어설 거대한 노광장비 공장에서 입자가속기의 전자 빔은 고품질 광원으로 전환돼 현장에서 반도체 제조와 과학 연구에 사용될 것이라고 SCMP는 설명했다.<p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">신문은 이러한 혁신이 저비용으로 반도체 양산을 촉진하고, 2㎚ 이상 초미세 공정 첨단 반도체 생산에서 중국이 선도적 역할을 할 수 있도록 이끌 가능성도 있다고 평가했다.<p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">SSMB 프로젝트를 이끈 탕촨샹 교수는 칭화대 홈페이지에 게재된 보고서에서 "우리 연구의 잠재적 응용 분야 중 하나는 미래 EUV 노광장비를 위한 광원"이라며 "국제 사회가 (우리 연구를) 면밀히 주시하는 것은 바로 그 때문이라고 생각한다"고 밝혔다.<p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">탕 교수는 "독자적 EUV 노광장비 개발까지는 여전히 갈 길이 멀지만, SSMB 기반 EUV 광원은 우리에게 제재 기술에 대한 대안이 될 수 있다"고 전망했다.<p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">SCMP는 해당 프로젝트가 2017년부터 진행돼왔으나 최근 화웨이가 미국의 제재를 뚫고 첨단 반도체를 제조했다는 소식이 전해진 후 관심을 받고 있다고 전했다.<p style="margin: 0px 0px 16px; padding: 0px; color: rgb(0, 0, 0); text-transform: none; line-height: 1.7; text-indent: 0px; letter-spacing: -0.01em; font-family: "Spoqa Han Sans Neo", "Malgun Gothic", "맑은 고딕", Gulim, 굴림, AppleSDGothicNeo-Regular, sans-serif; font-size: 18px; font-style: normal; font-weight: 400; word-spacing: 0px; white-space: normal; orphans: 2; widows: 2; font-stretch: inherit; font-variant-ligatures: normal; font-variant-caps: normal; font-variant-numeric: inherit; font-variant-east-asian: inherit; -webkit-text-stroke-width: 0px; text-decoration-thickness: initial; text-decoration-style: initial; text-decoration-color: initial;">이어 그러한 관심이 연구에 영향을 끼치자 탕 교수팀이 인터뷰를 거절하고 있다고 덧붙였다.         | 저작권자 ⓒ  연합뉴스(<a href="http://www.yonhapnews.co.kr">http://www.yonhapnews.co.kr</a>) | 무단전재 및 재배포금지 |

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