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SK하이닉스, 반도체 공정에 AI 솔루션 도입해 수율 개선: 2023.01.10 10:13 입력

김아람 기자 rice@yna.co.kr

<p class="update-time" id="newsUpdateTime01" data-published-time="202301101000"> </p><p> </p><div class="comp-box photo-group"><figure class="image-zone" data-stat-code="mapping_photo"><p align="center" class="img-con" style="text-align: center;"><span class="img"><img width="973" height="509" style="width: 548px; height: 304px;" alt="SK하이닉스" src="https://img1.yna.co.kr/photo/cms/2020/02/20/22/PCM20200220000122990_P4.jpg"></span><div align="center" style="text-align: center;"></div><p> </p><div class="img-con"> </div><figcaption class="desc-con"><strong class="tit-cap"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 9pt;">SK하이닉스</span></strong><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 9pt;"> </span><p class="txt-desc"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 9pt;">[SK하이닉스 제공]</span></p><p class="txt-link" data-mapping-link=""><a title="새창" href="" target="_blank"></a></p></figcaption></figure></div><p class="story-news"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 10pt;"> </span></p><p class="story-news"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 10pt;">(서울=연합뉴스) 김아람 기자 = SK하이닉스[000660]는 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입해 생산 효율 및 수율 개선에 나섰다고 10일 밝혔다.</span></p><p class="story-news"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 10pt;"> </span></p><p class="story-news"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 10pt;">SK하이닉스가 투자한 산업 AI 전문 기업 가우스랩스가 작년 11월 출시한 가상 계측 솔루션 '판옵테스 VM'을 12월부터 양산 팹(반도체 생산공장)에 도입했다.</span></p><p class="story-news"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 10pt;"> </span></p><p class="story-news"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 10pt;">제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 판옵테스 VM을 우선 도입한 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 핵심 공정이다.</span></p><p class="story-news"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 10pt;"> </span></p><p class="story-news"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 10pt;">박막 두께와 굴절률은 반도체 품질과 직결되지만, 미세한 박막에서 이를 계측하려면 많은 시간과 자원이 소요돼 전수 계측이 어렵다.</span></p><p class="story-news"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 10pt;"> </span></p><p class="story-news"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 10pt;">이를 해결하고자 도입한 판옵테스 VM을 통해 공정 산포(생산된 제품의 품질 변동 크기) 평균 21.5% 개선 효과를 얻었다.</span></p><p class="story-news"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 10pt;"> </span></p><p class="story-news"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 10pt;">SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 외 다른 공정으로도 판옵테스 VM 도입을 확대할 계획이다.</span></p><p class="story-news"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 10pt;"> </span></p><p class="story-news"><span style="font-family: 굴림체,gulimche; font-size: 10pt;">김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 "가우스랩스와 협력을 통해 한층 지능화된 스마트팩토리 구현에 힘쓰고 있다"며 "반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것"이라고 말했다.</span></p><p class="story-news"> </p><p class="story-news"> </p><p class="story-news"> </p><p align="right" class="story-news"> </p><p align="right" class="story-news" style="text-align: right;"> | 저작권자 ⓒ  연합뉴스(<a href="http://www.yonhapnews.co.kr">http://www.yonhapnews.co.kr</a>) | 무단전재 및 재배포금지 |  </p>

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